压力传感器是使用最为广泛的力学传感器。微型化、智能化和网络化的压力传感器在高端装备、智能制造、机器人、物联网等新兴领域具有可观的应用潜力。微机电系统（MEMS）具有尺寸微小、片内集成、批量制造、材料宽泛等技术优势，是智能传感器的主流技术方向。
蒋庄德院士在MEMS压力传感器方面的研究两次获得国家技术发明奖，对我国传感器行业的技术进步起到了重要的引领和带动作用。本书将作者团队多年来在该领域的科研积累融为一炉，从相关基础理论出发，论述了MEMS压力传感器的主流工艺、器件静动态测试、芯片电路等关键技术，并详细讨论了多种原创、特种、高端的MEMS压力传感器件，对于传感器或MEMS领域的研究人员具有重要的指导和参考意义。
